硅外延片检测什么单位可以做?检测项目及标准有哪些?检测实验室可依据GB/T 14139-2019 硅外延片等相关标准制定试验方案。对导电类型、晶向、电阻率及径向电阻率变化、厚度及径向厚度变化等项目进行检测分析。并出具严谨公正的硅外延片检测报告。

检测项目

导电类型、晶向、电阻率及径向电阻率变化、厚度及径向厚度变化、晶体完整性、表面金属元素分析、表面质量等。

适用范围

N型硅外延片、P型硅外延片等。

相关检测标准

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1555 半导体单晶晶向测试方法

GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T 6617 硅片电阻率测试 扩展电阻探针法

GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T 12964 硅单晶抛光片

GB/T 13389 掺砌掺磷掺碑硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

GB/T 14141 硅外延层、扩展层和离子注入层薄层电阻的测试 直排四探针法

GB/T 14142 硅外延层品体完整性检验方法 腐蚀法

GB/T 14146 硅外延层载流子浓度测试 汞探针电容-电压法

GB/T 14264 半导体材料术语

GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法

GB/T 14847 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法

检测流程步骤

温馨提示：以上内容仅供参考使用，更多检测需求请咨询客服。