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GB/T15615-1995硅片抗弯强度测试方法

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250~900μm。

标准号:GB/T 15615-1995

标准名称:硅片抗弯强度测试方法

英文名称:Test method for measuring flexure strength of silicon slices

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

发布日期:1995-07-12

实施日期:1996-02-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H23金属工艺性能试验方法

国际标准分类号(ICS):冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合

起草单位:中南工业大学

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家技术监督局

检测流程步骤

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