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掩膜板检测报告测试项目

检测报告图片

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第三方检测报告有效期

一般检测报告上会标注实验室收到样品的时间、出具报告的时间。检测报告上不会标注有效期。

掩膜板检测哪里可以做?检测项目有哪些?检测报告办理检测中心拥有多年的掩膜板检测的技术经验,可根据客户的检测要求制定科学的测试方法,并提供严谨的测试报告,帮助客户了解产品的技术参数。

检测项目:

平整度检测、厚度检测、表面缺陷检测、微观分析、化学成分分析等。

适用范围

石英玻璃掩膜板、苏打玻璃掩膜板、低膨胀玻璃掩膜板、透明树脂掩膜板、硬质遮光膜掩膜板、乳胶掩膜板、DUV掩膜、EUV掩膜等。

相关检测标准

DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范

IPC TM-650 5.5.6.2-1998 条纹焊料掩膜涂层标准测试模式

IPC TM-650 5.5.3.11-1998 标本G焊料掩膜

IPC TM-650 5.5.6.1-1998 焊料掩膜涂层标准测试模式

GOST 27716-1988 印刷电路板的光掩膜.一般技术条件

CSN 35 8971-1984 半导体器件.掩膜基件和掩膜.特征参数的测量方法

相关介绍

掩膜板产品的原材料和中间材料为玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等,其中主要原材料为玻璃基板,按材质可以分为石英基板和苏打基板,石英基板使用石英玻璃作为材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整和耐磨,使用寿命长,主要用于高精度掩膜板。由于石英玻璃的优良特性,未来其在掩膜板产品中的应用会更加广泛。

检测流程步骤

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