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微电子材料检测项目标准清单

检测报告图片样例

微电子材料检测报告如何办理?测试哪些项目?测试标准有哪些?百检也可依据相应检测标准或者根据您的需求设计检测方案。我们只做真实检测。

检测项目:

半绝缘砷化镓单晶中碳浓度、少子寿命、工业硅中杂质元素含量、晶向、晶片弯曲度、晶片翘曲度、电阻率与掺杂剂浓度换算、砷化镓单晶AB微缺陷、砷化镓单晶EL2浓度、砷化镓单晶位错密度、砷化镓和磷化铟材料霍尔系数、砷化镓材料杂质均匀性、砷化镓材料杂质浓度、砷化镓材料热稳定性、砷化镓材料霍尔迁移率、电阻率均匀性、砷化镓材料霍尔迁移率和电阻率的均匀性、硅单晶完整性、硅单晶电阻率、硅外延层、扩散层和离子注入层薄层的电阻、硅外延层厚度、硅外延层晶体完整性、硅多晶断面夹层、硅抛光片氧化诱生缺陷、硅抛光片表面质量、硅晶体中氧含量、硅晶体中碳含量、硅晶体中间隙氧含量径向变化、硅材料缺陷、硅片厚度和总厚度变化、硅片电阻率、硅片直径测量、硼含量、碳化硅单晶抛光片表面粗糙度、碳化硅单晶抛光片表面质量、碳化硅单晶片厚度和总厚度变化、碳化硅单晶片微管密度、碳化硅单晶片直径、磷化铟位错、锗单晶位错、霍尔系数、砷化镓材料霍尔迁移率、硅外延层电阻、光伏电池用硅材料表面金属杂质含量、多晶硅表面金属、导电类型、径向电阻率变化

检测标准:

1、SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

2、GB/T4326-2006 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

3、GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法

4、GB/T 1557-2006 硅晶体中氧含量

5、GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法

6、GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法

7、GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

8、GB/T6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法

9、GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

10、GB/T1555-2009 半导体单晶晶向测定方法

11、GB/T30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

12、GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

13、GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

14、GB/T30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

15、GB/T30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

16、GB/T19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

17、GJB 1927-1994 砷化镓单晶材料测试方法 GJB 1927-1994

18、GB/T6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法

19、GB/T1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

20、GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

检测报告用途

商超入驻、电商上架、内部品控、招投标、高校科研等。

检测报告有效期

一般检测报告上会标注实验室收到样品的时间、出具报告的时间。检测报告上不会标注有效期。常规来说只要测试没更新,测试不变检测报告一直有效。如果是用于过电商平台,一般他们只认可一年内的。所以还要看平台或买家的要求。

检测费用价格

因测试项目及实验复杂程度不同,具体请联系客服确定后进行报价。

检测流程步骤

检测流程步骤

温馨提示:以上内容仅供参考使用,更多检测需求请咨询客服。

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