GB/T 2831—2009.
1范围
GB/T 2831规定了光学零部件面形偏差的术语和定义、公差及检验方法。
GB/T 2831适用于使用光学样板的等厚干涉方法及干涉仪方法检验光学零部件的面形偏差。规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的较新版本。凡是不注日期的引用文件,其较新版本适用于本标准。
GB/T 13323光学制图(GB/T 13323—2009,1SO 10110-1;2006,Optics and photonics—Prepara-tion of dra wings for optical elements and systems—Part 1:General,NEQ)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。
3.1
面形偏差surface form deviation
被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。
注:在用样板检测的圆形检验范围内,面形偏差是通过垂直位置所观察到的干涉条纹(通称光圈)的数目、形状.变
化和颜色来确定。
3.2
峰谷值peak-to-valley Pv) value
两面之间的较大距离减去较小距离,简称PV 值。
3.3
条纹间隔单位unit of fringe spacing一个条纹间隔的面形偏差等于1/2波长。
3.4
总表面偏差状态total surface deviat ion function
实际表面和所期望的理论表面之差所规定的理论表面。

检测流程步骤

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