GB/T 31854-2015.Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry.
1范围
GB/T 31854规定了利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质含量的方法。
GB/T 31854适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定。各元素的测量范围见表1。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其较新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.1-2010洁净室 及相关受控环境第 1部分:空气洁净度等级
3方法提要
将试样用硝酸和氢氟酸的混合物溶解，加热使溶液蒸干,溶液中的硅以SiF4的形式挥发。然后用硝酸溶液溶解残渣,用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定溶液中待分析金属元素的含量。
4干扰因素
4.1实验室的洁净度、容器和仪器进样系统的洁净度、试剂和水的纯度以及操作过程等因素直接影响测量结果的准确度,应严格控制。
4.2双原子离子、多原子离子 、基体效应、背景噪声、元素间的干扰、交叉污染和仪器漂移等因素会影响测量结果。
4.3由于硅材料中金属杂质分布不均匀,样品的选择会影响产品中体金属杂质含量的评价结果,因此所取样品应具有代表性。
4.4如果 样品中杂质含量高,可采用电感耦合等离子体原子发射光谱等方法进行测定,以仪器被污染，影响仪器的检测限和精确度。

检测流程步骤

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