GBT15862-1995

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GB/T15862-1995离子注入机通用技术条件

GB/T15862-1995离子注入机通用技术条件

标准简介:本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。 标准号:GB/T 15862-1995 标准名称:离子注入机通用技术条件 英文名称:Generic specification for ion implantation equipment 标准类型:国家标准 标准性质:推荐性 标准状态:作废 发布日期:19
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