石英玻璃晶圆检测一般检测什么项目?检测标准有哪些?检测实验室可依据相关标准制定试验方案。对井弯曲度、翘曲度、尺寸偏差、表面粗糙度等项目进行检测分析。并出具严谨公正的石英玻璃晶圆检测报告。

检测项目

平整度、弯曲度、翘曲度、尺寸偏差、表面粗糙度、内应力检测、条纹检测、颗粒不均匀性、杂质元素含量测试等。

适用范围

光刻用石英玻璃晶圆等。

相关检测标准

GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

O?/T 3284-2015石英玻璃化学成分分析方法

GB/T 5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法

GB/T 32189氨化家单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

JC/T185光学石英玻璃

JC/T 655石英玻璃制品内应力检验方法

检测流程步骤

温馨提示：以上内容仅供参考使用，更多检测需求请咨询客服。