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光刻胶检测报告测试项目及标准方法(精选)

检测报告图片样例

检测范围

光刻胶

检测项目

UV 比 3.75±0.10,金属离子(Na、K、Ca、Mg、Fe、Mn、AI)总含有率≤200ppb,膜厚 Standard±50Å。

检测流程步骤

检测流程步骤

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